产品中心
外延类产品
主要产品:
· 上热壁盖 ChamBer liner · 旋转轴 Rotation shaft · 下前热壁基座 Front shield base
· 上后热壁 Rear half shield · 圆盘底座 Susceptor shield · 上/下 Dome
· 反应腔体 Reaction chamber · 下前热壁 Front shield · 三爪 Shaft